SEMICONDUCTOR 半導体関連
精密加工の技術を、
半導体の世界へ。
70年培ってきた精密加工・一貫製造の力が、半導体製造装置部品の厳しい要求に応えます。特殊コーティング技術と長野工場の新設備により、新たな領域に踏み出しています。
BACKGROUND
治具で磨いてきた技術が、
半導体関連と向き合う力になっています。
野口製作所はこれまで、精密加工治具の設計・製造を通じて「金属加工の一貫製造」「特殊コーティング」「短納期・特注対応」を積み重ねてきました。
半導体製造装置向け部品には、高い加工精度、耐薬品性・耐熱性を備えた表面処理、安定した供給体制が求められます。これらの要件は、既存事業で培ってきた技術と直結しています。
「治具屋が半導体関連を作る」のではなく、「積み上げてきた技術が、自然に次の分野へ広がった」というのが、私たちの実感です。
既存事業との技術的連続性
既存事業
精密金属加工
塩化ビニルコーティング
一貫製造体制
短納期・特注対応
新事業
高精度金属加工
PTFEコーティング
一貫製造体制
短納期・特注対応
TECHNOLOGY
PTFEコーティングとは何か。
半導体製造工程が求める「薬品・熱・摩耗への耐性」を、フッ素系特殊コーティングで実現します。
PTFEとは、ポリテトラフルオロエチレン（フッ素系樹脂）を表面に施すコーティング技術です。軽量で透明性があり、紫外線・化学薬品への耐性が高く、汚れが付着しにくい特性を持ちます。
半導体の製造工程では、部品が強力な薬液や高温環境にさらされます。従来の塩化ビニルコーティングでは対応できない環境でも、PTFEコーティングは安定した性能を発揮します。
既存コーティングとの比較
| 塩化ビニル（既存） | PTFE（新技術） | |
|---|---|---|
| 耐薬品性 | △ | ◎ |
| 耐熱性 | △ | ◎ |
| 膜厚精度 | 〇 | ◎ |
| 非粘着性 | △ | ◎ |
PRODUCTS
対応できる製品・加工
半導体製造装置向けに、3種類の製品・サービスに対応しています。
PRODUCT 01
PTFEコーティング搬送トレイ
半導体を載せて搬送するためのトレイ。静電気絶縁・薬品耐性が求められます。SUS304などのステンレス鋼をベースに、PTFEコーティングを施します。
PRODUCT 02
PTFEコーティングバルブ
半導体製造配管に使われるバルブ部品。極めて高い耐久性が要求されます。ステンレス鋼にPTFEコーティングを施し、薬液環境下でも安定した性能を発揮します。
SERVICE 03
PTFEコーティング処理受託
お客様がすでにお持ちの部品へのPTFEコーティング施工を受託します。素材・形状・用途に応じて最適な処理方法を提案します。
NAGANO FACTORY — NEW BUSINESS BASE
新事業の製造拠点：長野工場
半導体製造装置向け部品の製造は、長野工場を主な拠点としています。
長野工場には、新事業に必要な設備を新規導入しています。金属加工から特殊コーティングまでの工程を自社内で一貫して行える体制を整えることで、品質管理の徹底と短納期対応を両立しています。
主な導入設備（新規）
金属加工系
金属曲げ加工機
0.1mm単位での精密曲げ
金属加工系
自動穴あけプレス機
高精度穴あけ対応
金属加工系
TIG溶接機
異種金属の高精度溶接
コーティング系
吹き付け用ハンドガンユニット
コーティング系
焼成炉（縦長＋横長タイプ）
300°C以上で焼き付け可能
コーティング系
静電コーティングブース
均一膜厚の実現
WHY NOGUCHI
治具屋として培ってきた強みが、
そのまま半導体関連に活きています。
QUALITY & COST
加工から表面処理まで、
自社一貫で行います。
外注依存を排除した一貫製造体制により、品質管理を徹底。業界平均と比較して約2割のコスト優位性を確保しています。
SPEED
試作から量産まで、
短納期で対応します。
治具事業で積み上げてきた短納期対応力を、半導体関連でも発揮します。「間に合わせる」を起点に考えるチームです。
FLEXIBILITY
特注・仕様変更にも、
柔軟に対応します。
150社以上との取引で培った特注対応力が、半導体業界特有のオーダーメイドニーズに応えます。
CLIENTS & INQUIRIES
半導体業界からの引き合いが
始まっています。
大手メーカーからの具体的な引き合いをきっかけに、半導体製造装置向け部品への対応を本格化しています。
半導体製造装置向け部品について、
まずご相談ください。
「こういった部品は対応できますか？」「PTFEコーティングについて詳しく聞きたい」——どんな段階でも、お気軽にお問い合わせください。
お問い合わせ・見積もり依頼